我国的洁净室工程开始于20世纪60年代初，在70年代电子工业洁净室特别是半导体集成电路用洁净室的规划、建造开展很快，相继建成一批洁净厂房，并研制成功100级单向流洁净室;与此同时，长沙PCR实验室设计施工，洁净厂房用设备和资料，岳阳PCR实验室设计施工厂家，如过滤器，洁净工作台、层流罩、洁净烘箱、空气吹渊室、净化型传递窗等相继研制成功，并投入出产，虽然制作质量和某些工程指标与世界水平尚有差距，但已能满足国内部分需求，到20世纪70年代末我国洁净室规 划、建造和洁净工程的开展走向成熟阶段。

    洁净室净化工程检测点的安置：依据中华人民共和国GBJ73-84《洁净厂房设计规范》的规则：在对净化车间进行洁净度检测时，检测点应为距室内地坪1.00m的水平面内;关于单向流型净化车间测点总数应不小于20点，测点间距为0.5-2.0m。水平单向流测点仅安置在一净化车间工作区内;非单向流净化车间按净化车间面积小于或等于50m2安置5个测点。

    洁净室中的气流速度规定：这里要讨论的气流速度是指洁净室内的气流速度，在其他洁净空间中的气流速度在讨论具体设备时再说明。对于平行流洁净室《习惯上称层流洁净室，由于主要靠气流的“活塞打挤压作用排除行染，所以截面上的速度就是非常重要的指标。过去都参考美国20gB标准，采用0.45m/s．但人们也都了解到这样大速度所需要的通风量是极大的，为了节能，也都在探求降低风速的可行性。

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