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分子泵的优点是：启动快，节省能源，无油蒸气污染或污染很少，可获得清洁的真空；全磁悬浮分子泵无须润滑，与干泵一起使用，可获得无油的清洁真空环境。

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岛津分子泵控制器、电源、驱动器维修的部分型号：  

EI-R/S/M系列：

EI-R04M、EI-S04MEL/PTI 系列EL-203、EL-303、EL-403、PTI-1500

EI-D/M系列：

EI-D203M、EI-D303M、EI-D1003M、EI-D1103M、EI-D1303M、EI-D2003M、EI-D2203M、EI-D3153M、EI-D3203M、EI-D3403M、EI-D3603M、EI-D4203M

EI-M/MD/ME/MT系列：

EI-203M、EI-203MD、EI-280、EI-281、EI-303M、EI-1003M、EI-1303MD、EI-1500、EI-2001、EI-2001ME、EI-2003M、EI-3003M、EI-3203MD、EI-3403MD、EI-4203MZ 、EI-4203MT

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