氮气危险性概述

危险性类别：

侵入途径：

健康危害：空气中氮气含量过高，特种气体检测，使吸入气氧分压下降，引起缺氧窒息。吸入氮气浓度不太高时，患者起初感胸闷、气短、疲软无力；继而有烦躁不安、极度兴奋、乱跑、叫喊、神情恍惚、步态不稳，吴江区特种气体，称之为，可进入昏睡或昏迷状态。吸入高浓度，患者可迅速昏迷、因呼吸和心跳停止而死i亡。潜水员深替时，特种气体行业，可发生氮的麻i醉作用；若从高压环境下过快转入常压环境，体内会形成氮气气泡，压迫神经、血管或造成徽血管阻塞，发生“减压病”。

环境危害：

燃爆危险：本品不燃。

高纯六氟化硫

用途：在半导体生产中用作高密度等离子刻蚀的氟源，特种气体储存，不会产生含碳副产品；

变压器中的绝缘介质；

金属冶炼中的保护气氛；

六氟化硫断路器、互导传感器、六氟化硫避雷针的灭弧气体

电子级高纯六氟化硫作为一种理想的电子蚀刻气体，广泛应用于微电子技术领域

作为光导纤维制造中的单膜光纤隔离层掺杂剂

作为大气污染监测和水文地质检测领域的示踪剂

肝i脏肿i瘤的超声造影检查的造影剂也作为六氟化硫的用途

其中主要应用于半导体集成电路的消费制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体，其中常用的有20~30种。在集成电路制造应用方面详细包括集成电路芯片制程、化学气相堆积和气体应用、刻蚀和气体应用、掺杂和气体应用。

　　在太阳能电池应用方面详细包括太阳能电池的应用、晶体硅太阳能电池消费工艺和气体应用、薄膜太阳能电池消费工艺和气体应用；在化合物半导体应用方面详细包括化合物半导体的应用、MOCVD/LED消费工艺和气体应用。

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