半导体氦检漏系统生产厂家-北京氦检漏系统生产厂家-科创真空
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视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司





氦检漏设备


氦罩法

在这种方法中,用塑料薄膜包裹被测容器,汽车零部件氦检漏系统生产厂家,首先除去罩子中的空气,然后充入氦气或氦气混合气体,检漏仪与被测容器的内部连接,当检漏仪显示泄漏率时,指示泄漏。这个泄漏率称为总泄漏率。总泄漏率是所有泄漏率的总和。如果总泄漏率不超过标准值,北京氦检漏系统生产厂家,则每个泄漏率不超过标准值;如果总泄漏率超过标准值,检查每个点的泄漏率是否超过标准值。然后调整修改超过标准值的泄漏孔,直至达到合格标准。




逆流氦质谱检漏仪

逆流氦质谱检漏仪的结构特点如图5所示。该类仪器是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。例如,多级油扩散泵对氦气的压缩比为102;对空气中其它成分的压缩比为lO4~106。检漏时,通过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的氦气,仍有部分返流到质谱室中去,并由仪器的输出指示示出漏气讯号。这就是逆流氦顷质谱检漏仪的工作原理。




氦质谱检漏仪

氦质谱检漏方法比较多,根据被检件的测量目的可以分为两种类型,空调两器真空氦检漏系统生产厂家,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中要根据检验的目的选用合理的方法,要以被检器件的具体情况而定,灵活运用各种检漏方法。

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