真空箱式氦检漏系统

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机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。

1.1真空箱单元

真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。

真空箱：采用不锈钢材质制造，其内表面在加工后经抛光和清洗处理，半导体氦检漏仪器公司，保证了良好的本底和ji少的藏气，提高了真空箱的抽空效率。

1.2 充氦气回收单元

充氦气回收部分主要包括储气(高压)罐、回收(低压)罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀、压力传感器、真空计和管道等组成。能在设定的时间内对工件进行抽空、充氦气和氦气回收等处理。

1.3 检漏单元

真空箱式氦检漏系统机械系统部分的氦检漏单元，氦质谱检漏仪采用进口产品，电力开关真空箱氦检漏仪器公司，自动校准漏孔。技术成熟，性能稳定，安装维护方便，使其和真空箱连接更加协调紧密。

真空箱式氦检漏设备【安装调试】

1、交易完成后，氦检漏仪器公司，供方负责给需方安装调试。

2、供方将在合同签定后尽快向需方提供设备外形尺寸、设备电功率、供电位置、用水（气）压力、用水（气）量、管径等。设备到货后，供方在7天内尽快安装完成，并由用户进行水、电、气等的配套安装之后，供方再对设备进行调试。

3、保证需方及时方便地使用设备。

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氦气检漏设备主要技术指标

实际使用氦气检漏设备时，其较小可检出泄漏率为5×10-13Pa·m3 / s； 泄漏率显示的范围为1×10-3—1×10-13Pa·m3 / s。; 启动时间保持在小于等于3min的范围内； 响应时间小于或等于1。0s; 检漏口较大压力：1000Pa； 电源需要220v，50Hz，单相，10A。

使用氦气检漏设备时，请注意其机械泵的抽速为4L / S； 工作环境要求为5-40℃； 应注意相对湿度必须小于或等于80％; 尺寸：600（W）×550（D）×1000（H）; 通常重量将保持在65kg。 关于氦气检漏设备，应注意其配备了标准氦气检漏装置，包括更详细的校准报告。

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