潽拓——爱德华磁悬浮涡轮泵故障，分子泵

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概述——  nEXT240D分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵，有ISO100和CF100两种入口法兰接口，对N2的抽速为240l/s。

基本的分子泵系统通常由nEXT240D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合适的前级泵组成。

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    上轴承为性磁悬浮轴承：无需清洁、振动小、磨损低 配有手动放气阀（可选配电磁阀，用于全自动放气）Holweck拖曳分级技术，实现高吞吐量和高前级压力差带有吹扫口，提供制程气体稀释，以保护电机和下轴承

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