北京科创真空公司-半导体真空腔体加工生产厂家
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视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司





真空腔体优势及特性

真空腔体优势及特性

——按照客户要求,加工订制;

——一对一出图设计;

——可配套真空机组系统;

——耐高温、耐腐蚀;

——高质量、;

加工工艺,完全采用真空焊接技术拼装焊接;

的真空捡漏设备,更加保证产品的性;

超高真空主要应用在离子镀膜、高真空半导体设备、实验室设备等对环境要求极高的真空领域。

我公司采用三维建模软件,按照实际比例建立3D模型,根据客户文字、语言草图等需求表述,设计出适合客户所需产品方案(在方案定稿之前所有设计不收取任何费用)。

为了生产出匹配客户需求的产品,需要告知我公司以下几个问题点:

1、产品在使用过程中是否有温度产生,高温和低温分别是多少摄氏度,是否需要通水或液氮冷却等内外在因素。

2、对产品材质是否有特殊要求,真空领域腔体常用材质为:碳钢、铝、304不锈钢、316不锈钢等

3、产品的链接方式,抽真空的方式,抽真空所用的真空泵等

4、腔体真空度的要求,腔体抽完真空以后是否需要冲入保护气体或其他气体。

通常常见真空腔体技术性能:

材质:304不锈钢或客户材质。

腔体适用温度范围:-190℃~+1500℃(需加水冷却)

密封方式:氟胶“O”型圈或金属无氧铜密封圈

出厂检测事项:

1、真空漏率检测:标准检测漏率:1.3*10-8Pa●L/S    

2、水冷水压检测:标准检测压力:8公斤24小时无泄漏检测。

内外表面处理:拉丝抛光处理、喷砂电解处理、酸洗处理、电解抛光处理和镜面抛光处理等。




真空腔体加工检漏的办法

一、真空封泥检测法

用真空泥封住的漏点,卧式真空腔体加工生产厂家,此时要注意观察真空度的改变,假如贴上真空泥之后真空度上升较快,拿掉之后又有了显着的下降,这说明就是一个漏点哦。然而,这个办法在实际检测顶用的比较少

二、真空计检漏法

部分真空计的读数与气体种类有关,例如电离真空计,非标真空腔体加工生产厂家,热偶计。用合适的气体或许液体做示漏物质,这些真空计就成了探测器,一般镀膜机上都会有真空计,在实际使用中也是比较常用的检漏办法。热偶计的示漏物质有二氧化碳,丁烷,酒精等,热偶计的反响比较慢,真空腔体加工生产厂家,要仔细观察。用于电离计的示漏物质主要有氦,酒精等。




真空检漏的具体方法

极限压力合格,半导体真空腔体加工生产厂家,升压率不合格极限压力合格说明设备没有明显漏点,且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格,主要原因是从粗抽阀到炉体有一些较小的漏点,通常在1×10-9~9.9×10-4Pa·m3/s之间。检漏步骤为:

①用力按压气袋从粗抽阀开始向炉体方向喷吹氦气,遍针头移动的速度可以快些,对设备的全部焊口、法兰连接、动密封、热电偶连接等处进行检漏,在焊口不规整及法兰连接缝隙不均匀处将喷吹移动速度放缓并进行细致检查。

②不按压气袋,用针头缓慢地对位置进行检查,漏孔会吸入针头中存有的少量氦气,观测检漏仪屏幕漏率值喷吹过程中的变化,找到漏率大且上升快的点即是漏点。

③向各个加热电极、炉体水套等通水腔体内喷吹氦气检查泄漏情况。若检漏多遍后升压率仍不合格,可以用塑料布、胶带对的焊口、法兰连接处、热电偶、电极等处进行包裹罩封,然后向罩中喷入氦气,观察检漏仪的漏率变化,如果缓慢上升,说明被包裹的位置存在漏点。




非标真空腔体加工生产厂家-北京科创真空公司由北京科创鼎新真空技术有限公司提供。北京科创鼎新真空技术有限公司为客户提供“氦检漏设备,氦质谱检漏仪,LNG抽真空设备”等业务,公司拥有“科创真空”等品牌,专注于行业设备等行业。,在北京市昌平区科技园区仁和路4号3幢321房间的名声不错。欢迎来电垂询,联系人:任经理。

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