每一种实验室废气治理技术均有其适用对象和技术短板，没有哪一种技术可以处理所有废气污染物，故在进行废气工艺设计时更多的是考虑对现有的废气治理技术进行组合，扬长避短。  针对实验室废气大风量低浓度、同时含有无机物和有机物、间歇性排放等特点，采用“碱液吸收法+活性炭吸附”组合式工艺进行治理。碱液可吸收、化氢等无机污染物，利用活性炭的大量微孔结构对有机物进行物理吸附，从而使得实验室废气得以净化。


利用光进行催化分解式治理：这是目前一种较为的利用催化剂在光照作用下进行分解废气的治理技术，其中使用广泛的催化剂就是催化效果强，并且无公害的半导体材料。这种材料的催化剂，且安全性较高，因此应用的实践性较为其他的广阔。   随着社会的进步和科技的不断发展更新，一种更为环保和节能的催化材料正在兴起并渐渐被人们熟知和应用，那就是新型纳米材料，它的取材和用料更加的环保和安全，是化学科技在VOCs废气治理技术上取得的新进展和新突破。


曾有研究报道指出，废气工程售后，利用吸收净化法处理含氟气体时，在经过几级的吸收后，氟的吸收率会介于97%-98%之间。很容易溶于水，从而形成，又能和许多碱性物质发生反应，从而形成氟化盐。也很容易溶于水，从而形成和硅胶。  所以，采用水或碱液吸收的方法，会很轻易的脱除废气中的和。采用碱液吸收含氟废气中的HF和SiF，经常会用氨水、石灰乳和纯碱、溶液作为吸收剂，且脱效果较好，同时还能把含氟废气中的有害物质转化为有用物质，吸收液还能进行再生的循环利用。


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