真空设备检漏

一个真空系统，经相当长时间抽气之后，高压柜氦检漏系统，仍然达不到预期的真空度，可能的原因有:抽气情况不良，即抽气系统本身的问题。放气，即真空系统或容器内部存在气体或气源。漏气，即真空系统或被抽容器存在漏孔或缝隙。至于漏气是检漏技术所要解决的问题，即准确检出漏孔并加以修补。常规检漏内容包括:用适当的方法判断真空系统中漏气问题是否存在。确定漏气率。找出泄漏部位，氦检漏系统，以便修补堵漏。

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真空检漏

超声波法

该方法实际上是听音法的一种。它是将泄漏声音中可听频率部分截掉，仅仅使超声波部分放大，以检测出泄漏。检测时，可以直接使用超声波检测器，根据检测仪表指针是否摆动，确定有无泄漏。也可以采用使超声波回到可听频率范围内鸣笛的方法。采用后一种原理制造的超声波转换器不仅在被试验物加压时可以使用，在抽真空时，由于吸入的空气发出超声波，因而，采用真空法时也可以使用。

超声波转换器由于只检测超声波部分，在普通工厂的噪音条件下，不受明显干扰，因此检漏效果很好。

该法的灵敏度与被试验物体的加压、减压状况、泄漏的大小、泄漏点与检漏器（探头）间的距离等因素有关。当泄漏点与探头距离很近时，板式换热器氦检漏系统，超声波转换器的灵敏度可达1′10-2cm3/s。

检漏时将检漏器的灵敏度调到较大，一边移动探头，一边侦听，使能听到的超声波发出的声音达到较大。然后，再寻找发出超声波的位置，以便确定泄漏点。但在探头不易接近的地方出现泄漏时，就很准确地判断出泄漏点。这种方法操作简便，人为因素较小，不同检测人员所得到的检测结果基本相同。

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氢气检漏法的工艺和方法

批量生产的用户采用上述控制器进行示踪气体的充注，达到收到压力后控制器会给出提示，这时操作人员即可进行检漏操作，然后通过控制器把气体排出。注意不可以直接将气体排在检漏位置，因为这样会造成本底污染，使得后面的检漏无法进行。

工程安装维护商可以采用手持式氮氢检漏仪(有带气瓶/表组的套装产品供选择)，在现场需要查找系统漏点时，先排空制冷剂，然后逐段充注5%氢+95%氮的示踪气体，用手持式氮氢检漏仪进行巡检式查漏。由于氢气比空气轻，所以泄漏出来的氢气都会沿着管道等部件往上跑，并且可以穿透保温材料，使用者可以在部件较高位置进行检漏，比采用其他方式查找漏点要容易得多，成功率也高很多。

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