真空设备检漏

设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便，检测迅速等特点，是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器，

其测量工作原理如下。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计，用氦气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。其结构主要由进样系统、离子源、质量分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子。质量分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同，在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离，在设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙，打在收集器上。收集放大器收集氦离子流并送入到电流放大器，通过测量离子流就可知漏率。冷阴极电离真空计指示质谱室的压力及用作保护装置。

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氢气检漏法的主要设备

(1)检漏仪：采用上述工作原理制造的氢气检漏仪，由于氢气的上述性质，其灵敏度可以达到与氦检相同水平。

(2)示踪气体充注控制器：对于批量生产的用户，采用示踪气体充注控制器进行抽真空/充气/排气操作，可以完成对检测管道的充气和排气过程自动化控制。

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氢气检漏

油雾法

油雾法的测试尘源为油雾，“量”为含油雾空气的浊度，以过滤器前后气样的浊度差别来判断过滤器对油雾颗粒的过滤效率。

德国规定使用石蜡油，油雾粒径为0.3~0.5微米。油雾法在检测过滤器时，容易对过滤器造成损伤，且不能直接读值，浪费时间。

DOP法

这种方法曾经是国际上测试过滤器海绵常用的方法。

它的测试尘源为0.3微米单分散相邻苯二甲酸二辛酯(DOP)液滴，也称为“热DOP”，“量”为含DOP空气的浑浊程度。

将DOP液体加热成蒸汽，蒸汽在特定的条件下冷凝成微小液滴，去掉过大和过小的液滴后留下0.3微米左右的颗粒，进入风道，通过测量过滤器前后气样的浊度，并由此判断过滤器对0.3微米粉尘的过滤效率。

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