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在选择微焦点x射线源时需考虑X射线束的视野直径,即射线束的出射角。当需要在小焦距下完成微焦点射线照相时,出射角尤其重要。如40°出射角的管头相对于20°的管头,元器件失效分析,当在焦距一定,失效分析仪,透照相同检测面积时,需要的曝光次数较少。 焦点至管头x射线窗口端面的小距离决定了被检测物体离射线源的小距离,决定了系统可以得到的大几何放大。
所谓的微焦点X射线机是焦点尺寸可以达到几个微米,并且能够在0~225kV或更高恒电压模式下,以一定的功率(通常高为320W)连续工作的X射线机。 微焦点X射线机的焦点尺寸通常可以连续可调,从几微米直到0.2毫米或更高。
与常规X射线管相同,微焦点X射线管的阳极也是用循环油或水来冷却。 与常规X射线机不同的是,用于无损检测的微焦点X射线管是用真空泵来维持X射线管内的真空度(约为10-7)。 微焦点X射线管可以很方便的打开(即开放式或称为开管),失效分析设备,用来更换不同的靶材以产生不同的X射线频谱;更换不同形状及大小的X射线窗口;以及更换阳极的类型… 如换上各种直径和长度的棒阳极,以满足不同检测任务的需要。 这些阳极棒的长度可达1500毫米,直径可从18毫米一直小到4毫米。使用如此小的棒阳极,我们可以用单壁内透照方式,以的缺陷检测灵敏度进行射线检测。
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