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使用方法该设备操作简单,匀胶机优势,易于上手,具体操作如下:

一、曝光前准备工作

1、硅片处理:确保待曝光硅片经过匀胶处理,表面干净平整,没有明显的污渍或破损。

2、选择光刻板:根据项目需要,选择合适尺寸的光刻板,本设备兼容4英寸、5英寸或6英寸。

3、设备检查:仔细检查设备,确保所有部件处于正常工作状态,确保操作环境良好。




顶旭(苏州)微控技术有限公司是一家专注于微流控领域的高科技企业,我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等全mian的微流控解决方案。



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曝光操作步骤

1、安装硅片:将待曝光硅片平放在设备的载台上,匀胶机哪家好,确保位置准确。

2、放置光刻板:将光刻板平放在硅片上方,匀胶机企业,如果使用菲林掩膜,需要在其上方放置透明玻璃以保持平稳。

3、设定曝光参数:使用控制面板设置曝光时间和强度,根据具体需求进行调整。


4、启动曝光:确认参数设定无误后,点击启动按钮,设备将开始进行曝光。

5、监控曝光过程:在曝光过程中,您可以通过设备界面监控曝光进度,确保一切顺利进行。

6、曝光完成:曝光结束后,设备会发出提示,取出硅片和光刻板。








技术参数




曝光光源:紫外LED光源波长:365nm;

曝光面积:4英寸、6英寸可选;

曝光方式:单面接触式定时曝光;

曝光分辨率:2um;

曝光强度:20~200mW/cm2可调;

曝光不均匀性:≤5%;

光源平行性:≤2°;

光源寿命:≥20000h;

电源输入:AC220V±10V,50HZ

功率:250W

重量:25kg

外形尺寸:382(长)*371(宽)*435(高)

工作环境:温度0℃-40 ℃,相对湿度<80 %

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