质量流量计产品对使用气体的要求
要求气体必须洁净且没有颗粒物,没有液体。建议客户在上游气路中安装<30um的过滤器和干燥剂。输入的气体压力必须符合产品的耐压标准,青海触摸屏质量流量控制器,不能超过该产品要求的较大压力,触摸屏质量流量控制器厂家,也不能低于流量控制的较低要求。用户有责任按照相关安全规章使用每种气体。不正确的使用产品会使保修无效,由于不正确的使用所导致的损害本公司不承担任何责任。稳压电源必须按照要求配置,否则由此造成的损失本公司不承担。气路的连接,必须仔细的安装密封管件,触摸屏质量流量控制器原理,确保所有的密封管件经过单独检查并且没有划痕。
质量流量计使用方法
用户通过气管和接头将气源和本设备的气体进口连接。气源的压力必须在规定的范围内(0.1~1MPa),用同样的方法连接设备出口和用气部位。然后接通电源,在显示屏选择气体的种类,设置流量和气体总量,设置完成后设备自己校准并执行设定值开始工作。相关数值可以通过显示屏查看,触摸屏质量流量控制器原理,或者通过数据线以 4-20mA或者 RS485 协议与控制终端连接上传数据。可以使用随机配送的数据线连接査看的相关信息。(客户需要在订货时确认需要的信号输出接口类型)
质量流量计产品特点
产品特点,本产品集成触摸显示屏,可以通过显示屏选择待控制气体的种类、压力控制值的大流量体积、精度等,操作方便,实时显示当前流量信息。本产品在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合是:电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
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