汕头ULVAC高真空分子泵返油处理-广州潽拓光电科技





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分子泵是氦质谱检漏仪中获得高真空重要部,是氦质谱检漏仪中不可或缺关键部件,分子泵性能直接影响检漏仪性能参数的好坏,分子泵的发展直接影响着氦质谱检漏技术。本文重点讨论分子泵转速对氦质谱检漏的影响。2、逆扩散型检漏仪逆扩散型的检漏仪的检漏口是连接到高真空泵与低真空泵之间,所以被检试件的可检漏压力就是高真泵的前级耐压。如果试件压力超过这个压力,将使高真空泵不能正常工作。普通涡轮分子泵的前级耐压,一般不超过50Pa,远达不到高压检漏的要求。



1980年国际上出现一种称之为“复合型”的分子泵,现今,其前级耐压很高已达2000Pa。这种泵用作氦质谱检漏仪的高真空泵,可直接实现在高的试件压力下的检漏。用复合分子泵构成的一种可实现高压强下的检漏仪,其工作过程如下。当被检试件抽至1500Pa,V1开,氨气逆扩散穿越整个分子泵进入质谱室,ULVAC高真空分子泵返油处理,实现仪器的逆扩散检漏。



若能进一步将试件抽至200Pa以下,则V2关闭,V3打开,从泵的中间口逆扩散至质谱室,若能进一步将试件抽至40Pa以下,则V3关闭,V4打开,氦气从泵的上部逆扩散进入质谱室,或直接进入质谱室(常规检漏)。这种从高压检大漏到实现检微漏的全自动过程,一气呵成,不仅,也便于漏率的定量,由于每个状态下的阀门流导和泵的压缩比等参数都是固定不变的,仪器只需1次校准即可。


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分流式分子泵应用于氦质检漏仪

涡轮分子泵与油扩散泵相比具有启动快,有机蒸汽污染少和极限真空高等特点.因此在氦质谱检漏仪中采用分子泵作为高真空系统,即使检漏仪不用液氮冷阱,质谱室也不致严重沾污,并能保持较低的本底或杂声.这有利于氦质谱检漏仪的灵敏度和稳定性的提高,并且延长离子源的使用寿命.代理德国分流式分子泵SplitFlow独立机械和真空结构设计,广泛应用于国内,国际



爱发科氦质谱检漏仪生厂商.分流式分子泵客户案例:某国内爱发科检漏仪生产商,选用德国SplitFlow80分子泵集成于氦质谱检漏仪中.

分流式涡轮分子泵SplitFlow优点

紧凑设计,占地空间小

对所有气体的高抽吸能力和极高压缩比

集成分子泵控制器

防护类型IP54适合于工业用途

准S2和UL/CSA认证

运行数据监控保证分子泵运行安全性



涡轮分子泵应用于超高真空互联装置涡轮分子泵应用于超高真空互联装置

超高真空互联系统一般是通过RDC传样装置将不同的超高真空腔体连接起来,例如:快速进样室,样品生长腔,衬底制备腔,电子结构分析腔等,传样过程中保证超高真空量级的真空增量,超高真空互联系统很多可以连接8个腔体左右,极限真空好于1E-10mbar!

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分子泵使用中有哪些注意事项?2.一文了解分子泵在半导体行业的应用3.如何科学地获得超高真空?4.国际热核聚变试验堆(ITER)的真空结构5.一千多台样泵用于各项测试,仅选很优方案,揭秘新型分子泵测试方法;真空聚焦真空行业新媒体平台:涡轮分子泵应用于质谱系统分子泵应用于紧凑型质谱系统。



质谱分析是指与质谱分析相结合的一种核分析技术,用于实现同位素比值的测定.需要清洁无油的高真空环境,一般采用干泵配备涡轮分子泵实现高真空环境.质谱系统需要分子泵抽真空原因:1.电子加速运动的需要;2.电子正常工作的需要;3.加速管微波电场的需要(避免加速管中出现微波打火,必须抽到高真空). 中科院某大型科技工程项目,工程的主体建筑是三大:一台150MeV(1.5亿电子伏特)的电子直线、一台能在0.5秒内把电子束能量从150MeV提升到3.5GeV(35亿电子伏特)的量增强器,以及一台周长432米的3.5GeV电子储存环,



经过技术推荐,成功采购爱发科涡轮分子泵和干泵,涡轮分子泵抽速范围10至2700L/S,转速很高90,000rpm,极限真空很大1E-11mbar,对小分子气体具有更高的压缩比,实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100,000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用,推荐搭配旋片泵和干泵共同使用.


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