真空腔体常用的清洗方法

1、超声波清洗

超声波清洗是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用，使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的.

2、电解侵蚀清洗

电解侵蚀清洗类似于电解抛光，是指在溶剂中利用电解作用，清除金属部件表面上的薄锈或氧化膜等污染物，主要用于化学稳定性较高的合金部件，如不锈钢，耐热钢等.

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真空腔体

1.真空阀门在旋转调整螺杆之前，应使阀进口压力降低到开启压力的 0.9以下，以防止旋转调整螺杆时阀瓣被带动旋转，以致损伤密封面。

2.安全阀出厂前，应逐台调整其开启压力到用户要求的整定值。若用户提出弹簧工作压力级，则一般应按压力级的下限值调整出厂。

3.使用者在将安全阀安装到被保护设备上之前或者在安装之前，须在安装现场重新进行调整，半导体真空腔体加工价格，以确保安全阀的整定压力值符合要求。

4.为保证开启真空阀门中压力值准确，应使调整时的介质条件，如介质种类、温度等尽可能接近实际运行条件。介质种类改变，特别是当介质聚积态不同时(例如从液相变为气相)，开启压力常有所变化。工作温度升高时，开启压力一般有所降低。故在常温下调整而用于高温时，常温下的整定压力值应略高于要求的开启压力值。高到什么程度与阀门结构和材质选用都有关系，应以制造厂的说明为根据。

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维修真空设备的要点是判断故障。真空抽不上去，原因可能有几个，一定要搞清楚是什么原因，是真空机组的抽气能力不够还是漏率高；或者两者兼而有之。这时，应该耐心观察和记录，河北半导体真空腔体加工，从中找出故障。比如，半导体真空腔体加工公司，抽空时间相同，而真空度偏低，这时候，关闭高压阀，如真空计指针很快下降，多数情况是真空室漏了，这时候应先查出漏点。如真空计指针下降很慢，半导体真空腔体加工品牌，多数情况是真空机组抽气能力不够，这时可将重点放到查找真空泵及阀门的问题上，看是哪里出现了泄漏，或是扩散泵油被污染了，氧化了等；或是前级管路密封不好，泵油不足；或是泵有油乳化，轴封漏油，阀片损坏等故障。

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