净化工程单向流动洁净室一般有两种类型，即水平流动和垂直流动。在水平流动系统中，空气从一面墙流向另一面墙。在垂直气流系统中，高效送风口图片，空气从天花板流向地面。当洁净室内悬浮颗粒或微生物浓度较低时，采用单向气流。这种洁净室以前被称为“层流”洁净室。单向流和层流的名称描述的是空气在一个方向（垂直或水平）以0.3到0.5米/秒（60到100英尺/分钟）的平均速度通过空间的流动。

硅片直径为100um，合肥高效送风口，温升1度，上升0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，高效送风口规格，湿度也要求值一般较低，因为人在出汗，产品会有污染，特别怕大半导体车间，车间温度不应超过25度，湿度高的问题较多。当相对湿度超过55％时，冷却水管壁会结露，如果在精密设备或电路中发生，会引起各种事故。当相对湿度为50％时，容易生锈。

净化工程技术对半导体和集成电路生产的意义：

　　半导体材料的提纯是半导体器件发展的重要基础。由于大规模和超大规模集成电路的工艺要求，为了获得高纯度的硅材料，液槽式高效送风口，原料和中间介质的高纯度以及生产环境的洁净度成为影响产品质量的突出问题。IC芯片的良率与芯片的缺陷密度有关，芯片的缺陷密度与空气中的颗粒数有关。因此，随着集成电路的快速发展，不仅要控制空气中粒子的大小，还要进一步控制粒子的数量。

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