半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，LSI（大规模集成电路）级，VLSI（超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路）级。    

           近几年来，智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是大势所趋。据了解，我国在国产化方面取得可喜进展：国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局，高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束，高纯已成功打开。

电子气体主要包括：、、乙、化氢、硒化氢、、四氟化碳、化三氢、、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、、六、六氟化钨、六氟化硫、、磷烷、、、气、氨气、电子级等.

其中六氟化硫、电子级、、磷烷使用较多。

 

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1、与混合组成潘宁气体，充填在荧光灯中，可降低灯的启动电压；

2、充于冷阴极放电管中，可获得橙红色的发光，用作指示灯；

3、在微波激发下，发射单色的真空紫外谱线（74.4nm和73.6nm）

氙：

1、充入HID氙灯中，在启动后立即获得全部光输出的80%，放电时发射白光，色温5500K；

2、可制成卤素混合气体填充卤素灯；

3、在微波激发下，甲烷，发射单色的真空此外谱线（14.7nm）

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1、与混合，充填在荧光灯中，可提高光效，但启动困难；

2、可制成卤素混合气体填充卤素灯；

3、85同位素气体可填充入金属卤化物灯，甲烷批发，帮助启动；

4、在微波激发下，甲烷厂家，发射单色的真空紫外谱线（123.6nm和116.5nm）

 

氙气厂家 高纯氙气 采用空气分离设备变压吸附制氮，以的碳分子筛（CMS）为吸附剂，采用常温下变压吸附原理（PSA）分离空气制取高纯度的氮气。

 氧、氮两种气体在分子筛表面上的扩散速率不同，直径较小的气体分子（O2）扩散速率较快，较多的进入碳分子筛微孔，直径较大的分子N2扩散速率较慢，进入碳分子筛微孔较少。利用碳分子筛对氮和氧的这种选择吸附性差异，当压缩空气通过碳分子筛吸附塔时，氧在吸附相富集，高纯甲烷，氮在气体相富集，可使氧氮分离，在PSA条件下连续制取氮气。

 制氮机是以空气为原料，以碳分子筛为吸附剂，运用变压吸附原理，使充满微孔的碳分子筛对气体分子有选择性的吸附来获得纯度为98～99.99%的氮气。

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