洁净室中的温湿度控制。洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到 人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，百级无尘车间，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。净化车间根据区域环境、净化程度等因素，为若干等级，常用的有和国内区域行业标准。

净化工程的关键是设计，工程设计水平的好与坏将直接关系到整个工程之后的施工，还会影响净化工程今后的稳定性、可靠性、经济性。洁净室施工涉及装饰、暖通、电气和气体等，施工人员须对洁净室施工规范、施工工艺、施工质量有认识，否则，施工质量很难得到保障。现在国内的相关企业很多，所以净化工程企业之间的竞争也很激烈，因为科技的发展使得市场对净化工程的要求高了起来，从以前的价格竞争变成了现在的价值竞争。所以相关的净化工程企业应该提高自身的自主研发能力，不断的发展创新，才能适应这个竞争激烈的市场。

具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。一般洁净室高度控制在2.60米，对个别较高的设备可在局部加高，而不宜提高洁净区的高度。净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理，均应采用空气过滤器三级过滤。车间净化工程可以细分为很多方面，每一方面的标准达到了，车间净化工程才算是成功的。

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