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分子泵必须在分子流状态下工作，在分子流范围内，气体分子的平均自由程长度远大于分子泵叶片之间的间距，而气体分子的平均自由程长度会随着容器压力下降而增加，因此分子泵如果直接抽取大气，反而无法显示出它的性。

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 分子泵的清洗非常重要，如果前级泵没有问题，而真空在规定的时间内没有达到规定的真空度，在排除漏气的情况下，说明分子泵内部脏化了，就需要进行清洗。分子泵的清洗分为直接进行清洗和拆卸清洗，瓦里安进口分子泵维修推荐，前者适用于内部不太脏，后者用于内部严重脏化

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维修瓦里安TV 551分子泵——噪音很大，在排除外来因素的情况下，和排除外来异物进入泵内，叶片或轴承损坏等情况，可以查看是否是长期不换油，排气过滤器堵塞，油发黑，如果是这种情况可以在清洗真空泵后，更换排气过滤器，更换真空泵油后，真空泵可以正常运作了

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