各种气体配管配件要求

在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。

高纯氮气(PN2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氮气(N2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。

高纯氢气(PH2)氢气(H2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氦气(He)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

特气系统：必要的还需做双套管：外管酸洗钝化(AP)处理，内管电解抛光(EP)，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

对于特殊气体来讲，气体品种多，有毒有害气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全隐患。现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，工作的安全性大大提高。

气体管道工程施工有什么标准？

1.所有的管路、阀门、压力表都由高质量的不锈钢构成，并且都是标准配件。所有气体出口为不锈钢阀门。工作台上气体出口由单独的阀门来控制。引到工作台的气体管路将安装单独的球阀或针阀来控制。

2.所有气体管路都由高质量的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管SS-316L组成，铜管只使用在气体管路的末端和气体纯度不是要求太严格的地方(比如通风柜)

3.根据实验室的用气量，计算供气压力、流量和管道的内径，气体管路设计怎么样，所有气体主管道原则上不低于9.52mm(3/8in，仪器空气主管道直径为12.7mm).管路末端，原则上不低于6.35mm(1/4in，也可根据实际使用量而定)。

4.每个实验室都要有单独的阀门、减压阀门、压力表。此外，对于供应多台分析仪器的气体管路，另外还需要气体压力控制指示装置。所有气体管路的连接为无缝焊接。连接到阀门或调节装置时，才可以使用压力配件。

5.气体管路的支架要求耐腐蚀，可以采用不锈钢或其他合适的工程塑料等制作。每隔1.5m左右，气体管路设计哪里有，气体管路就需要有支架。另外根据气体管路弯曲的直径，设置合适的支架位置。

6.所有弯曲处都要有支撑。所有“U”性弯曲处根据安装情况，需要有支撑。

现在实验室常会用到各类分析仪器，这些仪器都需要使用载气和燃料气，这些气体的控制系统对于实验人员和价格高昂的实验器材的安全都是至关重要的。它必须确保这些气体的稳定性和安全性。多种分析仪器，如气相色谱仪，原子吸收，气—质联用仪，ICP等等，这些仪器需要用到高纯气体，传统的做法是采用独立钢瓶分散供气的模式，这种供气模式每台仪器设备单独配置气体钢瓶，分别满足每台仪器设备的使用，但随着近年来实验室投资的不断加大，仪器设备的迅速增加，用气量也逐年增加，气体管路设计，传统的供气模式已经难以满足仪器设备增加的需求，同时分散供气模式带来的实验室布局混乱，钢瓶的频繁更换也对实验室的管理和维护造成了困难。    

目前主流气路编排主要是实验室集中供气系统。

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