氦气检漏的主要技术性能
1.真空箱尺寸根据电芯尺寸确定;
2.一般为三箱联动系统,北京氦质谱检漏仪生产厂家,生产节拍可满足单台6PPM—12PPM;
3.开门方式,可根据用户生产工艺要求来设计,一般为平开门式、滑台合箱式;
4.上下料采用机械手或机器人,正常生产时设备无需人工操作;
5.系统配置二维码扫描装置,可将每个电芯的检测数据对应存储;
6.具有清氦功能
7.具有氦气回收功能(此功能可选)
8.自动判断,并对应放置(即不合格品放于不合格线,合格品放于合格线)
9.可通过触摸屏设置不同等级密码,更改设备参数;
10.人机交互界面,触摸屏实时反映运行状态和测试数据;
11.故障统计功能
12.系统采用配置和标准化设计制作,油箱氦质谱检漏仪生产厂家,确保运行稳定。
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逆流氦质谱检漏仪
逆流氦质谱检漏仪的结构特点如图5所示。该类仪器是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。例如,多级油扩散泵对氦气的压缩比为102;对空气中其它成分的压缩比为lO4~106。检漏时,通过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的氦气,电力开关真空箱氦质谱检漏仪生产厂家,仍有部分返流到质谱室中去,并由仪器的输出指示示出漏气讯号。这就是逆流氦顷质谱检漏仪的工作原理。
氦检漏设备
氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9~10-12Pam3/s,广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较,本底噪声显著减小.其灵敏度可达10-14~10-15Pam3/s,适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局,被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位,因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点.适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏,其灵敏度可达10-12Pam3/s。
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