氦气检漏仪的工作原理是什么？

主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成，离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子，分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同；在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离，再设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙；打在收集器上，收集放大器收集氦离子流并出入到电流放大器，通过测量离子流就可知漏率。

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氦质谱检漏仪故障与处理

内部的密封结构

当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，国产氦质谱检漏仪多少钱，容易造成误检、误判。 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧(见图2)，位于隔热板的上方：①检漏仪测试口与阀门组块的连接部位，密封方式采用胶灌密封，检漏仪在运输过程中如遇到强烈震动，河北国产氦质谱检漏仪，此处容易造成密封胶开裂。②各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封，橡胶圈的密封寿命有限，使用5 年以上时，有可能会存在密封失效的问题。③各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。

氦质谱检漏仪的主要配置

北京科创鼎新真空技术有限公司（简称：科创真空）是从事真空系统设计、制造及真空技术服务的化公司。公司致力于真空氦检漏设备、非标真空系统设计开发与制造。

1. 检漏仪分子泵

2. 机械泵或者干泵

3. 定制检漏仪电磁阀

4. 内置标准漏口

5. 放大器

6. 采用质谱模块

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