高温正火(Ac3以上150～200℃)由于高温下扩散速度较高，可以减少铸件和锻件的成分偏析。高温正火后的粗大晶粒可通过随后第二次较低温度的正火予以细化。

对某些用于汽轮机和锅炉的低、中碳合金钢，常采用正火以获得贝氏体组织，再经高温回火，真空热处理，用于400～550℃时具有良好的抗蠕变能力。

除钢件和钢材以外，寮步真空热处理，正火还广泛用于球墨铸铁热处理，使其获得珠光体基体，提高球墨铸铁的强度。

少无氧化加热金属。在空气和氧化介质中加热会发生氧化造成金属的损耗，而氧化会破坏零件和制品的表面状态和精度。如果采用中性、惰性气体保护，涂以保护涂料或用不锈钢箔包裹，在深度真空中加热可完全避免氧化。此外，东城真空热处理，加热时间很短的电感应方法，盐浴和流态床加热都可使金属的氧化降到较低程度。少无脱碳。例如钢件在空气等氧化气氛中加热、与表面氧化的同时还伴随表面含碳量的降低，形成表面脱碳。

真空热处理不仅是某些特殊合金热处理的必要手段，而且在一般工程用钢的热处理中也获得应用，特别是工具、模具和精密耦件等。众所周知零件经真空热处理后，畸变小，质量高，石碣真空热处理，且工艺本身操作灵活，无公害。

经真空热处理后使用寿命较一般热处理有较大的提高。例如某些模具经真空热处理后，其寿命比原来盐浴处理的高40~400%，而有许多工具的寿命可提高3~4倍左右。

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