半导体净化工程维护

在进行净化车间设计施工时应该注意:洁净室并非越大越好,面积和空间的大小关系着送风量的多少,决定着空调能耗的大小,影响工程的投资。但净化车间的空间面积也不可太小,太小可能不便于操作、维修。所以,设计合理的空间面积应考虑到设备操作、维修的需要。生产区和储存区应有与生产规模相适应的空间面积,用以安置设备、物料,便于操作和维修。一般洁净室高度控制在2.60米,对个别较高的设备可在局部加高,而不宜提高洁净区的高度。净化车间内部应设有物料的中间站,半导体净化工程维护,其面积足以存放物料、中间产品、待验品和成品,且便于明确分区,以减少差错和交叉污染。

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视频作者:山东晴朗净化科技有限公司









净化车间我们还要注意什么?洁净室应设的人的流、物流通道。人员应按规定的净化程序进入,并应严格控制人数。对于物料可在除去浮尘后拆去外包的通过缓冲间或传递柜送入。不同洁净等级的洁净区物品则通过传递窗传送。中间站宜设在中心位置,以便缩短运送距离。洁净区内不设与本岗位无关的管道。充分利用上下或周围的技术夹层,所有公用管道、工艺管道的主干管均在技术夹层安装。穿越地面、隔墙的管道尽可能靠近使用点并敷设套管,套管内的管道不应有焊缝,管道与套管之间应有可叉的密封措施。进入洁净室的管道应为不锈钢材质。


净化车间的传递窗广泛应用于微细科技、生物实验室、制药厂、食品加工、电子厂等一切需要空气净化的场所,机械式传递窗有内外两个窗扇,采用机械联锁方式,当一边窗扇打开时,另一边窗扇即被锁住,而不能打开,此时所要传递的物品放进窗体中间,关上打开的窗扇,此时另一边的窗扇的自锁开关解脱,即可被打开,取出物件。对于生物洁净室,传递中的物件有可能带有不少微生物病菌,因此在传递窗中设置有紫外灯,紫外灯的开启为自动方式,在进行物料的传递时,打开传体窗,将物料放入窗内,关闭传递窗后,延迟一段时间后紫外灯自动打开进行灭菌,照射若干分种后紫外灯自动关闭,再经过一段时间后传递窗的另一面窗扇方能打开。


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