洁净隧道：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。洁净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为更适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。并装局部无尘室：将无尘室等级10，000~100，000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，工厂强电安装，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

净化工程中空气净化处理方案。净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理，可采用亚高效空气过滤器代高效空气过滤器。空气过滤器的选用布置和安装方式，应符合：初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器；中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段；高效空气过滤器或亚高效空气过滤器宜设置在净化空气调节系统末端，高效空气过滤的安装方式应简便可靠，宜检漏和更换；中效、亚高效、高效空气过滤器宜按额定风量选用；阻力、效率相近的高效空气过滤器宜设置在同一净化车间内。

针对无尘车间净化空调系统的加湿问题，有许多常用的加湿方法，包括喷水、湿膜、高压喷雾超声波等水加湿。这些加湿方法属于等焓加湿过程。然而，喷射蒸汽、喷蒸汽和电极(电加热)加湿是将蒸汽喷射到空调的空气供应中，加湿方法是等温加湿过程。目前无尘车间在航空航天机舱中排名高，基本上属于一级，属于面积相对较小的特殊领域。此外，生化实验室和高精度纳米材料生产车间对等级要求较高。物联网芯片的发展将是未来需求的主要方向。

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