真空箱式氦测漏设备-北京科仪创新公司-氦测漏设备





真空设备检漏

氦质谱检漏仪实际上可以说是一个检氦仪,通过检测氦气的含量来确定是否有泄漏。而对氦的检测则使用的是质谱仪,是只检测氦的质谱仪,这种质谱仪将其它质量数的气体都屏蔽掉了。质谱仪要想正常工作,需要真空环境。至少要在 10-3 mbar 以下,空气的流动才体现为分子流,质谱仪才能稳定正常工作。所以检漏仪中还有一套高真空系统。

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氢气系统的组成

氢冷系统主要由氢气汇流排(供氢系统)、二氧化碳汇流排(供二氧化碳系统)、二氧化碳蒸发器(加热器)、氢气控制装置、氢气干燥器(氢气去湿装置)、循环风机、发电机绝缘过热监测装置(发电机工况监测装置)、发电机漏液检测装置和发电机漏氢检测装置(气体巡回检测仪)组成 。氢气系统的功能是利用干燥的氢气对发电机转子绕组和定子铁芯进行冷却;在机组起动前或停止运行后利用中间介质置换机内气体。



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北京科仪真空技术有限公司(简称:科仪)出资成立,创建于2015年,注册资金500万。科仪产品主要有:薄膜制备设备,真空冶金设备,检漏设备,真空系统等非标真空产品;系列分子泵,离子泵,包膜式氦测漏设备,钛升华泵,深冷捕集泵等高真空获得设备;系列干式涡旋泵,干式爪泵,干式螺杆泵等无油真空获得设备;超高真空环境模拟设备等高新技术产品。

如何选择检漏方式,与检测对象的工作环境有很大关系,尽量做到与检测对象的工作状态一致。如检测对象工作时内部处于正压,则用正压模式,如检测对象工作时内部处于负压,则用真空模式。HLT260型氦质谱检漏仪具有嗅探和抽真空2种检漏模式,即正压模式和负压模式。详细检漏方法与测量工作过程如下:

在抽真空方式下,待检漏的器件通过测试端口与检漏仪相连,

待测器件被检漏仪内部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空(如果待测器件容积较大,氦测漏设备,则需额外的泵组一起协同作业以提高xiao率)。只需测量待测器件外部大气通过器壁的漏孔进入器件内部的氦的多少便可以判断漏率的大小。如果需要得到精que的漏率数值,则必须等待整个测量系统的真空达到稳态,



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