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大阪真空涡轮分子泵越来越多地用于现代半导体工业。 溅射、蚀刻、蒸发、注入、分子束外延和离子处理等设备都需要在真空环境中运行。 近十年来,国内外涡轮分子泵得到了显着的改进和发展。 在涡轮分子泵的应用日益增多的情况下,干式前级泵并没有得到广泛的推广和应用,有时不得不使用油封机械泵作为涡轮分子泵的前级泵。 因此,针对这种情况,涡轮分子泵的合理选择和正确运行显得非常重要。


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大阪涡轮(复合)分子泵

用 途■小型实验设备的排气■装载室,搬送式排气■分析?测量仪器的排气■吸附?搬送■的排气■封装排气■电子,离子源的排气■干燥■溅射蒸镀等PVD设备排气■小型炉排气■分子泵等高真空泵的辅助泵








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维修美国 AgilentTV301 分子泵及提供维修保养

varian TV301 分子泵提供从250 至300 升/秒(视气体而定)的抽速,varian Turbo-V 301 Navigator分子泵经过优化设计,可以在低压强内实现高压缩比,在大抽气量和高前级压强是实现的压差。该泵为无油、无污染型,并且具有非常低的故障率,可以在任何位置工作而不对材料施加应力。典型的 MTTF 超过 250000 小时。








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