具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。洁净室内密封控制重点内容是围护结构密封施工质量，如板材与板材之间应均匀涂密封胶，达到严密不漏风。

 洁净技术专门研究并提供洁净的生产工艺环境和生产过程中使用的各种高纯介质，有效地控制微量杂质，以保证高科技产品的成品率。一般洁净室高度控制在2.60米，对个别较高的设备可在局部加高，净化工程安装，而不宜提高洁净区的高度。洁净室施工涉及装饰、暖通、电气和气体等，施工人员须对洁净室施工规范、施工工艺、施工质量有认识，否则，施工质量很难得到保障。

设计净化系统组织的原则是相邻二级过滤器的效率不能太接近，也不能相差太大。净化车间根据区域环境、净化程度等因素，为若干等级，常用的有和国内区域行业标准。布置工艺的流程尽可能短，减少交叉往复，、物流走向合理。要配备人员净化室、物料净化室，除配备产品工序要求的用室外，还应配备洁具室、洗衣间、暂存室等，每间用室相互，净化工程的面积应在保证基本要求前提下，与生产规模相适应。

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