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岛津磁悬浮TMP-4304分子泵保养对应的控制器为：Shimadzu EI-R04M

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岛津EI-D2003M磁悬浮分子泵驱动器可以控制的分子泵Shimadzu TMP-2003M/MC、TMP-2003LM/LMC等

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涡轮分子泵是一种用来获取高真空的真空泵，典型的工作压力是 0.0001Pa、0.00001Pa，但在极限状态下，可以通过它实现 0.00000001Pa（大气压的十万亿分之一）的超高真空。

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岛津TMP-203M磁悬浮涡轮分子泵进气法兰口VG100/ICF152/ISO100B/ISO100C，出气法兰口KF25，日本shimadzu分子泵上海，抽速可达到190 L/s，转速为50000 rpm

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真空泵可以抽到的压力的极限数值。真空泵的极限压力和抽气量是真空泵的重要参数，极限压力越低，真空泵制造真空环境的性能越高。

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