真空法氦质谱检漏

采用真空法检漏时，冷凝器真空炉检漏品牌，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，北京真空炉检漏品牌，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。其中真空喷吹法采用喷的方式向被检产品外表面喷吹氦气，真空箱真空炉检漏品牌，可以实现漏孔的; 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的氦气，可以实现被检产品总漏率的测量。

真空法的优点是检测灵敏度高，可以，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。

真空法的缺点是只能实现一个大气压差的漏率检测，不能准确反映带压被检产品的真实泄漏状态。

真空法的检测标准主要有QJ3123-2000《氦质谱真空检漏方法》、GB /T 15823-2009《氦泄漏检验》，主要应用于真空密封性能要求，但不带压工作的产品，充气柜真空炉检漏品牌，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。

氦质谱检漏仪是否有精度级别一说？

所谓的精度终指向的是--测试氦分压 （微观为个数，宏观则表现为在容器壁上的压力）（空气中5ppm氦气）

（1）吸质谱检漏，假定流量为300 sccm， 则检漏仪的真实本底为 Q=PV*d(t)=2.5E-5mbarl/s，但行业中吸式都标准在常压情况下能测到E-7，是因为加入了软件滤波（抑零）等。

（2）真空法，氦本底=分子泵抽速（辅助泵有则加上）*腔体内氦浓度*入口处压力，有很多外部条件。

氦气检漏的原理

大家都知道气分子内部结构稳定，化学性质并不活泼并且密度较小，由于这些特性氦气不会，也不容易和其他物质发生反应。因为这些性质，所以氦气经常被用来检漏。

其实任何可以感测气体分压之质谱仪，均可以作为真空系统漏气之侦测，通常为分子量较轻的气体，氦气渗透漏孔， 的质谱测漏仪，多将质普分析器固定在特定质量，通常为氦气的质量，以氦气为漏气体在欲侦测处到处喷氦气，观察质普是否改变，来办别是否有漏气，这是氦气检漏的原理。

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