具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。洁净室内密封控制重点内容是围护结构密封施工质量，如板材与板材之间应均匀涂密封胶，达到严密不漏风。

洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的)，否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室。净化工程的一般施工程序：粉尘作业，无尘作业后，不允许交叉作业。 否则会影响项目的质量。 也就是说，净化工程车间，在完成所有粉尘产生操作之后，可以进行无尘操作。 净化工程所特别设计的房间简称为：洁净室、无尘室、无菌室、无尘车间、洁净厂房等，主要目的是控制环境内的温湿度、洁净度、气流、噪音等达到标准。

 净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理，均应采用空气过滤器三级过滤。车间净化工程可以细分为很多方面，每一方面的标准达到了，车间净化工程才算是成功的。设计净化系统组织的原则是相邻二级过滤器的效率不能太接近，也不能相差太大。一般采用初效、中效、亚(或)三级过滤器。也可分四级，增加一级过滤器。净化工程的一般施工程序：粉尘作业，无尘作业后，不允许交叉作业。 否则会影响项目的质量。 也就是说，在完成所有粉尘产生操作之后，可以进行无尘操作。

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