真空箱氦检漏系统是一种用于检测真空容器内氦气泄漏的设备。它通过将氦气充入真空容器内，然后抽出样品中的氦气，根据氦气的浓度来判断容器是否存在泄漏。一般情况下，氦气浓度越低，说明容器的泄漏率越低。
该系统通常由真空箱、氦气发生器、氦气检测器和数据采集系统等组成。其中，真空箱氦检漏设备，真空箱用于抽取和储存氦气，氦气发生器用于产生高浓度的氦气，氦气检测器用于检测氦气的浓度，而数据采集系统则用于采集和记录检测数据。
真空箱氦检漏系统广泛应用于航空航天、电子、半导体、等领域，可以用于检测容器内的氦气泄漏，保证产品的质量和安全性。

氦质谱检漏系统是一种高灵敏度的泄漏检测设备，主要用于真空系统中微小渗漏的查找和定位。它主要由主机、进气管道组件、离子源、收集极、高压电源、探测器等部分组成。
该系统的功能是利用高速流动的高纯度惰性气体（通常是氮或）流将待测区域与外部环境隔离，如果存在泄的话，那么在压力梯变的影响下空气中的分子会从有缝隙的地方跑出去形成气泡，从而产生声学信号或者叫作粒子束，通过测量这个声音可以确定具体的漏洞位置以及大小等信息。这种技术对各种材料均不敏感而且对于很小的体积也可以进行准确的测定，因此广泛应用于半导体工业中硅片芯片封装环境的监测以防止晶圆损伤；也应用于大规模集成电路生产线上检查每个密封件是否有缺陷。

氦检漏系统主要是利用二次元示波器来检测压力容器的泄漏，其工作原理是通过电子流量计测量出一定时间内通过测试工件的气体体积和气体密度。然后根据标准大气压下气体的压缩公式：PV=RT，计算出被测产品的内压力值.

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