准分子气体的保存：严禁将其与可燃气体与助燃气体堆放在一起，也不要沾油腊、爆晒、以及重抛和撞击，气瓶的瓶身上也不能进行引弧或电弧，准分子激光预混气，装卸时要动作轻缓。准分子气体进样时需注意不泄露。大家都知道气体具有逃逸性，所以，准分子气体在进样的时候一定要注意先检查好容器和管线的气密性，确保进样的全程都不会发生泄露，以免降低气体的浓度而对样品数据的准确性造成不良影响。准分子气体进样时需要注意：管材的合理选择。准分子气体在进样的时候需要使用管线，准分子预混气厂商，但是每种其他的性质特点不同，所以要注意根据根据不同的气体性质来选择管线的材质。

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