高纯氮配管技术是高纯气体供气系统的重要组成部分,是能否将合符要求的高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键技术;所谓高纯气配管技术包括系统的正确设计、管件及附件的选择、施工安装和试验测试等内容。近年来以大规模集成电路为代表的微电子产品生产对高纯氮的纯度和杂质含量的日益严格的要求,使高纯氮的配管技术日益受到关注和重视。
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怎么对高纯氮来进行置换呢,这点也是很多人心里的疑惑,需要做但是却不敢做,接下来的话就带大家来了解一下吧。
在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求高纯氮纯度为99.99%以上。在航天技术中,液氢加注系统必须先用高纯氮置换,再用高纯氦置换。
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高纯氮的典型用途有哪些?不了解没关系,下面随着我一起来了解一下吧,希望下面的信息可以给你带来帮助!
ALLIA氮气/空气一体机可同时为GC提供高纯氮和干燥洁净的空气流。采用变压吸附PSA原理从压缩空气中去除氧气、二氧化碳和水。纯净空气是由活性氧化铝柱净化而产生。
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