真空泵注意事项
真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,微型真空泵公司,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg(绝压),在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜,而不能让它在25~30mmHg下长期工作。
真空泵分子泵
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,微型真空泵供应商,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,微型真空泵,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。
真空泵开机前的检查工作
随着真空泵使用率越来越普遍,它的质量也是越来越高,微型真空泵报价,由于它的特性优势被大家普遍使用,为了大家可以更好的应用,下面咱们了解下真空泵开机前的检查工作有哪些吧。
真空泵为确保真空负压站的正常稳定运行,延长设备的使用寿命,用户每次再开机前应进行一些开机检查工作,开机工作前需谨慎检查水泵的水循环的阀门是否打开。时刻检查真空负压站循环水罐里面的水量以及水的质量,需及时更换。检查外在线路是否全部连接,观察所有仪表是否在标注的位置。除了在每次开机前进行以上项目的检查外,每次使用中、关机还应该按照正确的流程操作,确保下次设备的正常。养成良好的习惯,有效减少设备故障率。
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