清洗机系统过程由PLC自动控制设备生产主线由机械系统(即高压喷淋粗洗、 高压喷淋精洗、次风切水一 次风切水二次风切水热风循环烘干和常温风降温)和电控系统组成其工作原理是利用一 定压力的喷淋

冲刷工件表面、结合清洗剂的化学去污、除油作用使I件表面干净然局通过 二次强风切水和热风循环方式达到干燥 I件

的效果后经过常温风降温后手动 下料。操作者将装有I件的洗篮放到升降车上由升降气缸将洗篮 上升到进料高度手动移到进料工作台再从进料工作台移动至输送链上将I件送到各段清洗、风切干燥及常温风降温再由手 动将洗篮移到出料台然后放到下料小车 上升降气缸 下降到低位后手 动下料完成整个清洗至干燥的过程。

旋转喷淋清洗是浸入型清洗的变型。系统中一般包括自动配液系统、清洗腔体、废液回收系统。

喷淋清洗在一个密封的工作腔内一次完成化学清洗、去离子水冲洗、旋转甩干等过程，减少了在每一步清洗过程中由于人为操作因素造成的影响。在喷淋清洗中由于旋转和喷淋的效果，使得硅片表面的溶液更加均匀，同时，接触到硅片表面的溶液永远是新鲜的，这样就可以做到通过工艺时间设置，控制硅片的清洗腐蚀效果，实现很好的一致性。密封的工作腔可以隔绝化学液的挥发，减少溶液的损耗以及溶液蒸气对人体和环境的危害。各系统分别贮于不同的化学试剂，在使用时到达喷口之前才混合，山东手动单工位旋转喷淋清洗机，使其保持鲜，以发挥潜力，这样在清洗时会反应快。用N2喷时使液体通过很小的喷口，使其形成很细的雾状，手动单工位旋转喷淋清洗机哪家好，至硅片表面达到更好的清洗目的。

设备开箱验收（或设备安装移交验收单），手动单工位旋转喷淋清洗机定做，由设备管理部门纳入设备档案管理；随设备的配件、备品，应填写备件入库单，手动单工位旋转喷淋清洗机定制，送交设备仓库入库保管。安全管理部门应就安装试验中的安全问题进行建档。设备移交完毕，由设备管理部门签署设备投产通知书，并将副本分别交设备管理部门、使用单位、财务部门、生产管理部门，作为存档、通知开始使用、考核工程计划的依据。

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