电子工业用高纯度混合气一般会用来焊接以及用于气相外延生长,下面随着我一起来了解一下吧,希望下面的信息可以给你带来帮助!
电子工业用混合气是指在大规模集成电路(LSI)、超大规模集成电路(VLSI)和半导体器件制造中,用于气相外延生长、化学气相淀积、搀杂、蚀刻和离子注入等工艺(工序)的一类特殊电子混合气。主要有外延(生长)混合气、化学气相淀积用混合气、搀杂混合气、蚀刻混合气和其他电子混合气。
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混合气是由几种不同的气体混合而成的混合物,混合气在工程方面运用是非常广泛的。高纯度混合气体通常被当作理想气体研究。
高纯度混合气体的性质取决于组成气体的种类和成分。
混合气体的成分有3种表示方法。
①容积成分:组成气体的分容积与高纯度混合气体的总容积之比
②质量成分:组成气体的质量与混合气体的总质量之比
③摩尔成分:摩尔是物质的量单位。
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常见二元高纯度混合气有哪些?这些你都知道吗,今天就由小编来给大家简单的介绍一下Ar+He高纯度混合气吧,希望对大家有所帮助。
用不同Ar、He组合能控制阴极斑点的位置,提高电弧电压和热量,保持Ar的有利特性。但He的体积分数小于10%时会影响电弧和焊缝的力学性能,与Ar混合的 He的体积分数至少应在20%以上才能产生和维持稳定喷射电弧的效果。He的加入量视板厚而 定,板越厚加入量越大。
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