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涡轮分子泵是一种用来获取高真空的真空泵，典型的工作压力是 0.0001Pa、0.00001Pa，但在极限状态下，岛津二手泵TMP280-L-SER维修，可以通过它实现 0.00000001Pa（大气压的十万亿分之一）的超高真空。

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真空泵的极限压力可以简单理解为这台泵*高能抽到的真空泵。 测试一般是盲死抽气口，测试此时真空泵所抽的负压是多少。 6*10-2pa一般是双极旋片式真空泵的极限真空度，意思为0.06pa

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复合式分子泵的形式很多，按结构分，主要有两种：一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合；另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。

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