使用气体质量流量控制器注意事项

1.怕粉尘， 若粉尘进到气体质量流量控制器内部会阻塞传感器和分流器，空气流量控制器， 导致数据误差， 所以建议在MFC进气口前加装过滤装置; 

2.怕液体和油渍进到MFC， 一旦有液体进入到MFC内部会导致无法控制，所以建议在MFC进气口前端还要加装干燥装置， 假如MFC的出口接有液体罐， 也要在MFC出口再加上单向阀， 避免液体流回; 

3.怕应用湿冷的腐蚀性气体，空气流量控制器公司， 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈， 导致MFC通道毁坏， 因而在应用腐蚀性气体前， 要对气体和MFC管路系统开展烘干解决;，并且在通腐蚀性气体前要检查管路的气密性，空气流量控制器多少钱，还要使用惰性气体对管路进行吹扫，然后再通腐蚀性气体，等MFC工作结束后还要使用惰性气体再次吹扫一遍管路，保证管路中不会残存腐蚀性气体。

4.怕在应用强腐蚀性、有毒有害及yiranyibao气体时不按安全性标准实际操作， 这样有可能导致人身及商品毁坏和其他明显的损害。 

5.使用MFC前还需要将MFC进行通电预热，保证MFC在不通气时，瞬时流量处于0的位置，如果不通气时，瞬时流量显示有一定的数值，表示传感器出现“零漂”现象，可以先对MFC进行调零处理，否则将影响MFC的精度。

气体质量流量控制器应用领域

气体质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密的测量和控制。其广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、环保和真空等多种领域的科研和生产并在其中起着重要的作用。典型的应用场合包括微电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气象色谱仪及其他分析仪器。

气体质量流量控制器对于气体的要求

1，气体必须洁净且没有颗粒物， 没有液体， 这就要求在MFC/MFM的上游气路中安装干燥器和过滤器。

2，空气流量控制器厂家，输入的气体压力必须符合产品的耐压标准， 不能超过该产品要求的较大压力。

3、产品的使用气体必须与用户订货选择的密封材料相适应， 用户有责任按照可用的安全规章使用每种气体。不正确的使用产品会使保修无效，还容易产生危险。

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