设备的测试重复性和稳定性非常关键，X荧光光谱仪是基于X射线的元素定性和定量分析技术，各生产厂家根据不同的标定曲线来对样品进行定量，如果每次测试偏差很大，再号称多的仪器也没有作用，这方面也是考察XRF仪器的一个重要依据。很多销售人员都会说XRF本身存在不稳定性，EDX-6000 微光斑黄金检测仪哪里有，这是事实，但如果偏差的太远，那也说明技术不过关，测试根本就起不到应有的检测作用。测量稳定性和重复性是衡量设备性能的一个关键指标。




普遍使用的反射式光栅光谱仪的光谱范围取决于光栅条纹的设计，可以具有较宽的光谱范围。表征光谱仪基本特性的参量有光谱范围、色散率、带宽和分辨本领等。基于干涉原理设计的光谱仪（如法布里-珀涉仪、傅立叶变换光谱仪）具有很高的色散率和分辨本领，常用于光谱精细结构的分析。根据现代光谱仪器的工作原理，光谱仪可以分为两大类：经典光谱仪和新型光谱仪。




主要使用X射线束激发荧光辐射，次是在1928年由尔和施雷伯提出的。到了现在，该方法作为非破坏性分析技术，并作为过程控制的工具，广泛应用于采掘和加工工业。原则上，轻的元素，可分析出铍（z=4），但由于仪器的局限性和轻元素的低X射线产量，往往难以量化，所以针对能量分散式的X射线荧光光谱仪，可以分析从轻元素的钠（z=11）到铀，而波长分散式则为从轻元素的硼到铀。




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