与其他外延方法相比；它具有如下的优点：1）生长设备比较简单，；2）有较高的生长速率；3）掺杂剂选择范围广；4）晶体完整性好，外延层位错密度较衬底低；5）晶体纯度高，生长系统中没有和强腐蚀性的原料及产物，操作安全、简便等。LPE的不足在于，当外延层与衬底晶格常数差大于1%时，1260液相设备好不好，不能进行很好的生长。其次，由于分凝系数的不同，除生长很薄的外延层外，1260液相设备哪里有，在生长方向上控制掺杂和多元化合物组合均匀性遇到困难。再者LPE的外延层表面一般不如气相外延好。

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