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在高真空抽气过程的起始阶段，泵的很大的未经烘烤的内表面会吸附水，然后再在较低的压力下重新释放出来。这种效应在无阀门的系统中更为明显，因为它可能比未暴露在压力高于150Pa的空气环境的有阀门的系统吸附更多的水蒸气。系统停机时，先关闭高真空阀，如果有液氮冷阱的话，还要将冷阱加热。在冷阱达到平衡温度后，关掉前级管道阀，再切断涡轮分子泵电动机的电源，使分子泵的转子减速。

一般来说，泵转子完全停止需要十分钟或更长的时间。在分子泵转子减速期间，来自前级管道的碳氢化合物和涡轮分子泵的润滑油蒸气会迅速地向泵的进气口上方区域扩散。为了防止机械泵油蒸气和涡轮分子泵润滑油蒸气的返流，在切断涡轮分子泵电动机的电源后，要用一股干燥的反向气流对分子泵进行放气。

例如，应该在泵转子速度下降到很大转速的50%左右时，在泵进气口上方的某处或在转子组件上部连续充入气或氮气，直到泵内压力达到大气压。通过从阀门3（见图1）充入气体就可适当地完成这一操作。当涡轮分子泵以额定速度运转时，不应经常充入压力为大气压的气流。这样做对轴的寿命是不利的。当前级管道阀关闭后，即可关掉机械泵系统，并用放气阀对机械泵内进行放气。停机后应立即关掉冷却水以防止内部冷凝。在正常工作时，可把水温调节到略高于来消除泵体外部可能形成的冷凝物。

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本文研究市场、主要地区和主要国家磁悬浮分子泵的销量、销售收入等，同时也重点分析范围内主要厂商（品牌）竞争态势，磁悬浮分子泵销量、价格、收入和市场份额等。针对过去五年（2017-2021）年的历史情况，分析历史几年磁悬浮分子泵总体规模，主要地区规模，主要企业规模和份额，爱发科分子泵UTM-500保养，主要产品分类规模，下游主要应用规模等。规模分析包括销量、价格、收入和市场份额等。

针对未来几年磁悬浮分子泵的发展前景预测，本文预测到2028年，主要包括和主要地区销量、收入的预测，分类销量和收入的预测，以及主要应用磁悬浮分子泵的销量和收入预测等。 按收入计，韶关爱发科分子泵，2021年磁悬浮分子泵收入大约百万美元，预计2028年达到百万美元，2022至2028期间，年复合增长率CAGR为%。同时2020年磁悬浮分子泵销量大约，预计2028年将达到。

2021年中国市场规模大约为百万美元，在市场占比约为%，同期北美和欧洲市场分别占比为%和%。未来几年，中国CAGR为%，同期美国和欧洲CAGR分别为%和%，亚太地区将扮演更重要角色，除中美欧之外，日本、韩国、印度和东南亚地区，依然是不可忽视的重要市场。市场主要磁悬浮分子泵生产商包括真空、Atlas(Edwards&Leybold)、大阪真空机器制造所、和等，按收入计，2021年大厂商占有大约%的市场份额。

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超高真空互联装置需要在超高真空环境中进行，对真空度要求及其高，真空可达1E-10mbar，一般需要用前级泵，分子泵，离子泵，钛泵等组合使用来达到要求，涡轮分子泵需要低振动，低噪音，清洁无油确保超高真空的稳定性以保证晶格的生长和后期的探测分析.德国涡轮分子泵80，700，1200广泛应用于超高真空互联装置中!

超高真空互联系统会以ARPES，STM，MBE，UPS，爱发科分子泵UTM-800价格，XPS的联用为主.下图为某研发生产各类高真空系统客户实例图:1.ARPES角分辨光电子能谱，利用光电效应研究固体的电子结构，当一束光照射在样品表面，当入射光频率高于特定阈值(功函数)时，表面附近的电子会脱离样品，成为自由电子，这就是光电效应.光电子在真空飞行的过程中，被一个接受角度很小的能量分析器收集计数.

某光源ARPES光束线真空系统，真空系统是同步辐射光束线的重要组成部分，只有在真空环境中运行，光学元件才能够将同步辐射光传输到试验站，真空系统的作用就是获得并维持合理的真空度，保证光束线的稳定运行.此系统搭配爱发科分子泵80，及配套真空规。

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