使用方法
该设备操作简单,易于上手,具体操作如下:
一、曝光前准备工作
1、硅片处理:确保待曝光硅片经过匀胶处理,表面干净平整,没有明显的污渍或破损。
2、选择光刻板:根据项目需要,选择合适尺寸的光刻板,本设备兼容4英寸、5英寸或6英寸。
3、设备检查:仔细检查设备,确保所有部件处于正常工作状态,确保操作环境良好。
二、曝光操作步骤
1、安装硅片:将待曝光硅片平放在设备的载台上,山东桌面光刻机,确保位置准确。
2、放置光刻板:将光刻板平放在硅片上方,如果使用菲林掩膜,需要在其上方放置透明玻璃以保持平稳。
3、设定曝光参数:使用控制面板设置曝光时间和强度,桌面光刻机设计,根据具体需求进行调整。
数显测厚规(千分款)
测量匀胶厚度
量程:0~10mm
精度:0.001mm
公差:≤±0.005mm
观察头:铰链式三目观察头,30°倾斜,瞳距48~75mm
目镜:超大视野目镜 10X/22
无xian远平场消色差物镜:4X/0.1,桌面光刻机怎么样,10X/0.25,20X/0.4,40X/0.65
转化器:四孔转换器
载物台:载物台面积300×268mm,移动范围250×250mm
焦距调节:同轴粗微动调焦机构,桌面光刻机哪家好,行程24mm
照明系统 :6V20W卤素灯,亮度可调
滤色镜 蓝色、黄色、绿色、磨砂玻璃片
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