FSCU 用途

将 FSCU 嵌入到应用系统中，FSCU 可通过触摸屏、PLC、PC 软件等上位机系统控制国内外主流流量控制器（如北京七星华创、Horiba、MKS、Brooks、Bronkhorst、Alicat 等品牌）及截止阀，可以读取气路中压力信号或温度信号并进行转换，从而实现气路中常用元件的程序控制，实现温压修正、MFC故障诊断、气路截止等一系列联动功能。

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体积流量的表示方法

对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，智能流体数字控制模块，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量（如g/min），这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数， 可以方便地查到，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。所以说，智能流体数字控制模块报价，在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。

需要注意的是， 被全世界质量流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种质量流量单位， 不符合国内计量标准的常用的质量流量的国际单位（Kg/min）， 但是它符合国际半导体协会制定的SEMI。

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FSCU介绍

FSCU（Flow System Control Unit）是北京晓韬科技有限公司技术团队针对高校、研究院、科研型企业研发设计，智能流体数字控制模块多少钱，FSCU 自动化程度高、于高集成度、数据采集。适用于多种气体、液体自动化控制，在多种应用领域为其量身打造的气体、液体流量控制系统单元，目前大量应用于材料、催化、环境、化学、物理等相关科研领域。

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