无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一,无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内,允许误差在±1%的狭窄的范围内,例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。
净化车间施工过程中需要注意的方面:
1、首先确认施工工程的设计图纸和要求,形成合理的方案。各个部门之间要相互沟通,研究作业过程中必须注意的事项。
2、检查施工过程中所有的用的材料,设备是否达到所需要的标准,检查合格后方可使用。
3、施工过程中注意施工进度及质量,施工检查记录表和施工验收记录应及时填写,文件与工程要同步。
4、净化车间施工过程要有先后顺序,无菌室施工,可以同时施工但是要注意彼此之间的关系,不能有什么材料就先施工那部分。
6、所有的材料应该有防雨雪等措施,防止材料氧化腐朽,重要的器材要设置专门的保护区。
5、严格执行施工管理制度,现场要做好安全防护以及所有施工人员的安全培训。
6、节能环保,在净化车间施工过程中,运输、储存、施工过程中,禁止严禁污染环境。
无尘室在安装管道和线路的时候,如果需要焊接作业,应该准备好消防灭火设备和石棉板等,无菌室公司,发生危险情况,可以及时处理。在安装管道和线路要严格安装规范进行施工,安装后还需要测试安装质量,一般是使用水压进行试验,如果不允许使用水压进行测试,滨江无菌室,可以采用气压进行测量,也应该做好安全防护工作。如果和原有管道进行连接,无菌室安装,先要了解管道的特性,安装工作应该由的施工人员进行操作,并配备消防灭火器材。如果管道输送的是高纯度的气体和液体,严格按照规范进行施工外,还需要对管道进行清洗、吹扫后对纯度进行测试。
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