LPE的硅外延层，以其良好的电学、光学及其生长特性，而在CVD无法胜任的领域应用前景诱人.目前，取得较为成功的方面有:(1)垂直沟道的场控制器件中的埋栅制造及沟道的外延再填;(2)太阳能电池;(3)超晶格器件;(4)三维集成技术 [1]  .场控制器件：CVD在硅器件的埋结制造中，二手1260液相设备怎么用，因自掺杂而出现埋层尺寸增加，二手1260液相设备哪家好，密排栅极叉指制造也受到严重影响，而LPE因其可以消除自掺杂，而在这方面得到应用，尤其对硼扩散的埋栅区域的埋结制造，其优点更为明显 [1]  .




低温硅液相外延：低温外延是硅器件制造的总体趋势.在硅LPE中，由于新的溶剂(主要是Ag，二手1260液相设备，Au及其合金)不断发现，大大降低了硅LPE的温度.金对硅的溶解度就是在400℃也能达到15at.%以上，二手1260液相设备哪里好，Ag在845℃也有11at.%的Si含量.又因金在硅中的固溶度在800℃才达到影响光生载流子寿命的阈值，而当生长温度低于500℃时，Au在硅中的固溶度不到1012cm-3。




1.常见色谱故障——压力波动可能原因：溶剂进口过滤芯堵塞；溶剂未脱气；泵的密封垫老化；出口单向阀失效；主动阀失效。常见原因：泵内有气泡2.常见色谱故障——压力过低可能原因：溶剂进口过滤芯堵塞；连接管路泄漏或其它备件（泵头密封垫）；溶剂或流速改变；主动阀失灵；四元比例阀失灵；单向出口阀失灵；色谱柱失效（固定相流失）。




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