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旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切（二者有很小的间隙），转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。进口真空泵维修

电子束蒸发镀膜需要高真空环境！

电子束蒸发法是在真空条件下利用电子束进行直接加热蒸发材料， 使蒸发材料气化并向基板输运， 在基底上凝结形成薄膜的方法. 常见于半导体科研工业领域. 利用加速后的电子能量打击材料标靶， 使材料标靶蒸发升腾. *终沉积到目标上.进口真空泵维修

在蒸发镀膜设备中， 真空镀膜室的本底真空度要求较高， 一般真空度越高， 腔室内杂质气体的量越少， 镀膜材料在沉积到基片上的过程中， 与环境中的杂质气体碰撞变少， 粒子的能量大， 可以在基片上形成更致密均匀的膜， 由于分子泵的无油和高真空特性， 逐渐取代了有油的扩散泵成为*普遍的真空系统，进口真空泵维修

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氦质谱检漏仪分子泵故障及处理

1、仪器界面上TMP显示“0”即分子泵没有工作

有可能是前级压力过高(该分子泵的启动压力为200Pa)导致分子泵无法启动。检查导致压力过高的项目有：真空规管是否有问题，分子泵出口是否打开，机械泵油是否太脏或机械泵是否转动，系统是否有泄漏。也有可能是分子泵的叶片或转子被损害，可自行用工具拨动叶片，判断其能否转动。

2、分子泵加速指示灯不亮

电路板上的保险丝烧断，更换保险丝或检查是否有短路现象。

3、分子泵故障灯亮

检查电路板设置开关是否处于R位置，此时应该在N位置。检查风扇是否停止，如风扇正常，则可能为氦质谱检漏仪分子泵电源故障。

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当终止分子泵，请先得出关机命令(STOP)，待分子泵降速完毕，ROTATION显示灯灭掉(液晶显示器上显示信息STOP，及转速比显示信息为0%)，确定分子泵早已彻*终止，才能够断电。如必须拆装线缆，在如上述情况一切正常关机并关闭开关电源后，才能够拆下来线缆，分子泵在一切正常运行时肯定不可以拔下电缆线电源插头。 真空涡轮分子泵维修

真空泵的工作原理是利用偏心转子在泵腔内形成通过旋转产生体积的交化而将体排出泵外，主要是在吸气过程中，吸气腔体积增大，真空度降低，将容器内气体吸入泵腔，在排气过程中体积变小，压强增大， 终通过油封将吸入的气体排出泵外。作用：真空泵的作用是产生负压，从而增加制动力。 真空涡轮分子泵维修

　通常而言，处理真空泵废气有3种方法，第*种就是碳吸附法，由于其特殊的性质，表面积大，吸附能力强，活性炭被广泛应用于过滤场景，过滤水、气味等，varian分子泵维修要多少钱，经过长时间的吸附后，吸附容积饱和，将停止吸附，失去过滤能力，因此用此方法需要频繁更换。

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