半导体真空腔体的应用

中国半导体真空腔体市场近几年快速发展，越来越多的公司也表达了进入芯片领域的兴趣.以存储芯片为例，以前中国国内存储芯片完全靠进口，今年福建晋华集成电路的内存生产线有望投产，另外长江存储科技公司也在建设内存和闪存芯片生产线.格力、康佳等传统家电企业也表示，将进入芯片领域.

据国际半导体设备与材料协会报告显示，中国目前正在天津、西安、北京、上海等16个地区打造25个FAB建设项目，福建晋华集成电路、长江存储科技公司等企业技术水平虽不及韩国，但均已投入芯片量产.报告预测，今年中国半导体设备市场规模有望达118亿美元，实现同比43.9%的增长，并且明年市场规模有望扩大至173亿美元，增长46.6%，成为大市场.而同一时期内韩国的半导体设备市场规模从179.6亿美元减少至163亿美元，减幅为9.2%.中国超越韩国成为很大半导体设备市场.

真空腔体加工的注意事项

真空腔体是保持内部为真空状态的容器，真空腔体加工要考虑容积、材质和形状。

超高真空系统主要采用不锈钢材质。其中300系列不锈钢(表1)是含Cr10%～20%的低碳钢，具有优良的抗腐蚀性、无磁性、焊接性好、导电率、放气率低和导热率低、能够在-270～900℃工作等优点，在高真空和超高真空系统中，应用较广。

为了减小腔体内壁的表面积，通常用喷砂或电解抛光的方式来获得平坦的表面。超高真空系统的腔体，更多的是利用电解抛光来进行表面处理。

维修应注意哪些环节?

维修应注意拆卸、清洁、检验、装配等环节。真空设备无论大小都属于精密机械设备，这点很重要。拆卸应遵循轻拿轻放的原则，不能蛮干，一定不能用大锤去敲；清洗零件时要干净、，以便于发现问题和查出隐患；真空泵类产品与一般机械产品有较大区别，大型真空腔体加工哪家好，一般机械产品多倒楞倒角，北京真空腔体加工哪家好，而真空泵的楞角分明，很易伤手，应多加小心，切记。

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