在生产中，石碣真空热处理，常根据对工件性能的要求。按加热温度的不同，把回火分为低温回火，中温回火，和高温回火。淬火和随后的高温回火相结合的热处理工艺称为调质，即在具有高度强度的同时，常平真空热处理，又有好的塑性韧性。

1）低温回火：150-250℃，M回，石排真空热处理，减少内应力和脆性，提高塑韧性，有较高的硬度和耐磨性。用于制作量具、刀具和滚动轴承等。

2）中温回火：350-500℃，T回，真空热处理，具有较高的弹性，有一定的塑性和硬度。用于制作弹簧、锻模等。

3）高温回火：500-650℃，S回，具有良好的综合力学性能。用于制作齿轮、曲轴等。

在相同热处理工艺条件下，齿轮各部分的冷却速率相同，但由于材料淬透性不同会导致齿轮各部分，特别是心部位置相变进程不同，转变组织也不同。通常，对于淬透性较低的材料，齿轮心部以铁素体和贝氏体为主，齿轮变形较小；对于高淬透性材料，齿轮心部以低碳马氏体和贝氏体为主，齿轮变形较大。通过实际生产检验和热处理工艺模拟发现，对于不同淬透性材料而言，齿轮底面变形趋势和规律也不同。

内应力的消除还与温度升高时金属强度降低有关。一般钢铁回火时，硬度和强度下降，塑性提高。回火温度越高，这些力学性能的变化越大。有些合金元素含量较高的合金钢，在某一温度范围回火时，会析出一些颗粒细小的金属化合物，使强度和硬度上升。这种现象称为二次硬化。

刀具、轴承、渗碳淬火零件、表面淬火零件通常在250℃以下进行低温回火。低温回火后硬度变化不大，内应力减小，韧性稍有提高。

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