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潽拓——爱德华二手泵},分子泵

【广州现货】Edwards爱德华涡轮分子泵nEXT240D ,二手分子泵维修保养


入口法兰                  DN100ISO-K,爱德华二手泵,DN100CF

出口法兰                  DN25NW

标称旋转速度              60000 rpm

待机旋转速度              可在 33000 至 60000 rpm 之间变化(默认为 42000 rpm)

推荐控制器                TIC200 分子泵和仪器控制器



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     EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修


爱德华EPX 180真空干泵

       Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用,爱德华二手泵nEXT85过载,如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的单轴再生 Holweck® 分级机构,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能,爱德华二手泵nEXT300保养,既可集成到制程工具,爱德华二手泵nEXT85服务商,可以远程安装。重量43.5KG。






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  爱德华IPX100真空泵维修 BOC EDWARDS IPX100


      分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。

这种泵具体可分为:

1)牵引分子泵 气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被驱送到泵的出口。

2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。

3)复合分子泵 它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。






STP-iXR系列STP-iXR1606、STP-iXR1606C、STP-iXR2206、STP-iXR3006、STP-iXA3305C、STP-iXA3305CP、STP-iXA3305CV、STP-iXA3306C、STP-iXR3306


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